低温泵系统常见故障排除
低温泵系统故障分为压缩机故障和真空抽气系统故障两部分。故障排查顺序一般是先检查氦气压缩机部分，再检查真空抽气系统，根据检查结果再进一步排除故障。
压缩机故障的排除：压缩机的故障有润滑油泄漏、氦气泄漏、压缩机完全不能运转、压缩机开启后只能运转几分钟就停机、压缩机发出很大的噪声。根据多年的经验制成对照表1，便于使用中排除压缩机的故障。
真空抽气系统故障的排除：真空抽气系统故障常见现象是被抽容器的压力升高，原因有真空系统漏气、低温泵出现故障。可以用氦质谱检漏仪分别对低温泵和真空容器进行检漏，若未发现异常可以按照下表对照逐一排除。
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